期刊档案
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
— · ISSN 1071-1023 · 工程技术-工程：电子与电气
数据可追溯 · letpub-v6 · 更新于 2026-08-25期刊简介
研究范围与定位
Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.
结构化分区
学科分区明细
不同版本、大类与小类分别展示，不将不同评价口径合并为一个分区值。
《新锐期刊分区表》（ 2026年3月发布）
2026-03 · 4 个学科记录
Top：否综述：N/A
| 类别 | 学科 | 分区 |
|---|---|---|
| 大类 | 工程技术 | 4区 |
| 小类 | 工程：电子与电气ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | 4区 |
| 小类 | 纳米科技NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | 4区 |
| 小类 | 物理：应用PHYSICS, APPLIED | 4区 |
期刊分区表（ 2025年3月升级版）
2025-03 · 4 个学科记录
Top：否综述：否
| 类别 | 学科 | 分区 |
|---|---|---|
| 大类 | 工程技术 | 4区 |
| 小类 | 工程：电子与电气ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | 4区 |
| 小类 | 纳米科技NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | 4区 |
| 小类 | 物理：应用PHYSICS, APPLIED | 4区 |
期刊分区表（ 2023年12月旧的升级版）
2023-12 · 4 个学科记录
Top：否综述：否
| 类别 | 学科 | 分区 |
|---|---|---|
| 大类 | 工程技术 | 4区 |
| 小类 | 工程：电子与电气ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | 4区 |
| 小类 | 纳米科技NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | 4区 |
| 小类 | 物理：应用PHYSICS, APPLIED | 4区 |
期刊档案
出版与身份
- 期刊ISSN
- 1071-1023
- 是否OA开放访问
- No
- 通讯方式
- A V S AMER INST PHYSICS, STE 1 NO 1, 2 HUNTINGTON QUADRANGLE, MELVILLE, USA, NY, 11747-4502
- 出版商
- A V S AMER INST PHYSICS
- 出版国家或地区
- UNITED STATES
- 出版语言
- English
- 出版周期
- Bimonthly
- 出版年份
- 1991
期刊档案
研究范围
- 期刊简介
- Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.
- 涉及的研究方向
- 工程技术-工程：电子与电气
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指标与活跃度
- 2025-2026最新IF（数据来源于网友提供）
- 注册或登录后，查看IF
- 实时影响因子
- 截止2026年5月06日：1.61
- 2025-2026自引率
- 6.2%点击查看自引率趋势图
- 五年IF（数据来源于网友提供）
- 1.402数据由网友[dawnwillow374]收集提供
- h-index
- 暂无h-index数据
- CiteScore （ 2026年6月最新版）
- 暂无CiteScore数据
- 年文章数
- 170点击查看年文章数趋势图
- Gold OA文章占比
- 9.78%
- 研究类文章占比：文章 ÷（文章 + 综述）
- 99.41%
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分区、收录与风险
- WOS期刊JCR分区 （ 2025-2026年最新版）
- 注册或登录后，查看WOS分区等级
- 期刊分区表预警名单
- 2026年03月发布的新锐学术版：不在预警名单中2025年03月发布的2025版：不在预警名单中2024年02月发布的2024版：不在预警名单中2023年01月发布的2023版：不在预警名单中2021年12月发布的2021版：不在预警名单中2020年12月发布的2020版：不在预警名单中
- SCI期刊收录coverage
- Science Citation Index Expanded (SCIE) (2020年1月，原SCI撤销合并入SCIE，统称SCIE)
- PubMed Central (PMC)链接
- 访问官方页面 ↗
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投稿与评审
来源与统计口径
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