JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 由 A V S AMER INST PHYSICS 出版，属中科院工程技术大类（2025 升级版4区）。按 OpenAlex 近年发文统计，该刊主要发表 Semiconductor materials and devices、Advancements in Photolithography Techniques、Semiconductor Quantum Structures and Devices 等主题的论文，这 3 个主题约占 30.4%，主导子领域为 Atomic and Molecular Physics, and Optics、Electrical and Electronic Engineering。（根据 OpenAlex 主题统计与中科院分区数据生成）

Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.

来源：LetPub

研究方向（LetPub）：工程技术-工程：电子与电气

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影响力指标

影响因子

1.61LetPub · 2026-09-13

h-index

142OpenAlex · 2026-10-01

i10-index

6,156OpenAlex · 2026-10-01

两年平均被引

0OpenAlex · 2026-10-01

自引率

6.2%LetPub · 2026-09-13

Gold OA 文章占比

9.78%LetPub · 2026-09-13

发文规模

年文章数

170LetPub · 2026-09-13

不同来源的统计口径与观测时间不同，页面保留各来源原值；“出版商公布”为期刊官网自述数据。

平均审稿速度（社区反馈）

平均3.0个月LetPub · 2026-09-13

平均录用比例（社区反馈）

容易LetPub · 2026-09-13

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出版商

A V S AMER INST PHYSICS

出版国家或地区

UNITED STATES

出版语言

English

出版周期

Bimonthly

创刊年份

1991

ISSN

1071-1023

官方链接

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