Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics 由 AVS Science and Technology Society 出版，属中科院工程技术大类（2025 升级版4区）。按 OpenAlex 近年发文统计，该刊主要发表 Semiconductor materials and devices、Advancements in Photolithography Techniques、Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis 等主题的论文，这 3 个主题约占 26.7%，主导子领域为 Electrical and Electronic Engineering。（根据 OpenAlex 主题统计与中科院分区数据生成）

该刊近年发文主要集中在：Semiconductor materials and devices（14.6%）、Advancements in Photolithography Techniques（6.7%）、Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis（5.4%）、GaN-based semiconductor devices and materials（5.2%）、Nanofabrication and Lithography Techniques（4.8%）、ZnO doping and properties（4.3%）、Ion-surface interactions and analysis（4.3%）、Nanowire Synthesis and Applications（4.2%）；所属学科：Engineering、Physics and Astronomy、Materials Science；来源标注的研究方向：Materials Science-Materials Chemistry。（领域画像由 OpenAlex 发文统计生成，占比为近似值，非期刊官方描述）

由 OpenAlex 主题分布与研究方向自动生成的领域画像，非期刊官方表述。

研究方向（LetPub）：Materials Science-Materials Chemistry

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出版商

AVS Science and Technology Society

ISSN

2166-2746

电子版 ISSN

2166-2754

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